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永康光亮爐退火爐安裝調試完成

2022-05-10

長興佳輝爐業股份有限公司在永康安裝調試光亮爐退火爐順利完成


光亮退火爐


永康光亮退火爐調試


光亮退火爐是一種新型換熱設備。光亮退火爐是在半導體器件制造中使用的一種工藝,其包括加熱多個半導體晶片以影響其電性能。熱處理是針對不同的效果而設計的??梢约訜峋约せ顡诫s劑,將薄膜轉換成薄膜或將薄膜轉換成晶片襯底界面,使致密沉積的薄膜,改變生長的薄膜的狀態,修復注入的損傷,移動摻雜劑或將摻雜劑從一個薄膜轉移到另一個薄膜或從薄膜進入晶圓襯底。加熱方式有電加熱、燃油、燃氣、燃煤、熱風循環。

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